光学3d表面轮廓仪
· 2022-11-11
| 光学3D表面轮廓仪 | |
| 项目所在采购意向： | 山东大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 山东大学 |
| 采购项目名称： | 光学3D表面轮廓仪 |
| 预算金额： | 150.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A033499 其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 光学3D表面轮廓仪，1台，最大扫描量程大于等于10 mm；垂直分辨率优于0.1 nm；水平分辨率优于0.5 μm；台阶高度准确性优于0.75%；台阶高度重复性优于0.1%；最大扫描速度大于10 μm/sec；样品可测反射率范围大于0.05% 到 100%；最大可测样品倾角大于20° (shiny surfaces)；大于50° (rough surfaces)。可测样品最大高度大于等于80 mm；XY 样品台直径大于等于120 mm。提供（2.5X和20X）或（5X和50X）的物镜，测量过程全自动软件控制，提供软件包及SDK开发包，提供设备使用详细说明书，并在到货后提供现场技术培训，保证3名以上用户能够熟练使用。保修期2年以上。 |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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