碳化硅高温氧化炉
· 2022-11-27
| 碳化硅高温氧化炉 | |
| 项目所在采购意向： | 山东大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 山东大学 |
| 采购项目名称： | 碳化硅高温氧化炉 |
| 预算金额： | 1050.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | 其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 本次采购碳化硅高温氧化炉设备1台，产品需要达到气路N2、Ar、O2、H2、NO、N2O、CDA；最高温度1400℃；控温精度±1℃等技术指标，满足碳化硅栅氧制备要求。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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