晶圆载流子浓度变温测试系统
· 2022-12-18
| 晶圆载流子浓度变温测试系统 | |
| 项目所在采购意向： | 山东大学2023年1至2月政府采购意向 |
| 采购单位： | 山东大学 |
| 采购项目名称： | 晶圆载流子浓度变温测试系统 |
| 预算金额： | 120.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | 其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 本次采购晶圆载流子浓度变温测试系统一台套，需要达到电阻测量范围：0.1mΩ/sq～1e11Ω /sq，载流子浓度：106 ~ 1021 cm-3，变温范围：-190 - 600度的技术指标，满足半导体材料测试需求。 |
| 预计采购时间： | 2023-02 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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