高能离子注入机
· 2023-01-03
| 高能离子注入机 | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2023年1月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 高能离子注入机 |
| 预算金额： | 3500.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A033499其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 1.兼容碳化硅衬底和硅衬底，晶片尺寸8″、6″、4″及不规则小片2.注入元素Ar 、N 、P 、B 、Al 3.剂量范围5E11～1E16 ions/cm24.Al 注入能量>1MeV或深度>2μm本底真空度Ion Source：≤5E-7Torr |
| 预计采购时间： | 2023-01 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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