高温氧化炉 | |
项目所在采购意向: | 东南大学2023年1月政府采购意向 |
采购单位: | 东南大学 |
采购项目名称: | 高温氧化炉 |
预算金额: | 1000.000000万元(人民币) |
采购品目: | A033499其他专用仪器仪表 |
采购需求概况: | 1.兼容碳化硅衬底和硅衬底,晶片尺寸8″、6″、4″及不规则小片2.气路 N2、Ar、O2、NO、CDA、N2O3.最高温度≥1500℃4.稳定工作时间≥1h(@1350℃)恒温区温度精度≤±1℃,不均匀性≤±5℃(@1350℃) |
预计采购时间: | 2023-01 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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