晶圆激光快速退火系统
· 2023-01-03
| 晶圆激光快速退火系统 | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2023年1月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 晶圆激光快速退火系统 |
| 预算金额： | 1000.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A033499其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 1.兼容碳化硅衬底和硅衬底，晶片尺寸8″、6″、4″及不规则小片；晶圆厚度最薄可以到80um；提供紫外、绿光两种选择，机台可以配置一种波长激光，也可以同时配置两种波长；2.激光输出稳定性≤1%；3.具备小型化密封腔室，氧含量最低可控≤10PPM；比电阻接触率≤10 -5Ωcm²；Rs均匀性3σ≤2% |
| 预计采购时间： | 2023-01 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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