紫外-极深紫外光源与真空光路系统 | |
项目所在采购意向: | zycgr210708012022年10月政府采购意向 |
采购单位: | zycgr21070801 |
采购项目名称: | 紫外-极深紫外光源与真空光路系统 |
预算金额: | 192.500000万元(人民币) |
采购品目: | A033499其他专用仪器仪表 |
采购需求概况 : | 1. 光源波长范围1-200nm;2. 高压电子枪束流≥10 mA;3. 阳极可切换靶位数≥6;
4. 真空度高于10-6 Torr;
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预计采购时间: | 2022-10 |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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